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6.3.6设备配置方案

日期:2022-01-11 01:26:39点击:331

6.3.6设备配置方案
计算表明,通道长度厶不宜过长,在计算条件下,L=25 mm的通道特性(热流密度和 等温行)要高于
L较长的通道特形。在方案设计中,对于较大的基板面积,可以将通道在 长度方向上进行分割,将长通道变为短通道,如图6.3.3,6. 3. 4所示。

此外,对于温差应该有专用设备加以保障。因为该温差是基板温度和流体温度 之差,当基板温度给定以后,要求介质温度固定在设计值。例如,当,基板温度 时,则介质的平均温度应稳定在30℃
为了调节进入微通道的介质温度和介质流量,应该配备一台专用的热交换器.在要求 提供严格的温度和流量时,需采用制冷机组,在微通道中被加热的介质(水)作为中间介 质在制冷机的蒸发器中降温,达到所需要的温度后再进入微通道,从而形成独立循环系 统,如图6. 3.5所示。

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